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一种近零间隙测量装置、方法及设备.pdf

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    本发明公开了一种近零间隙测量装置、方法及设备，包括显微视觉位移机构、对位纠偏平台、精密移动滑台、大理石平台、框架平台、基板移动滑台和上位机；框架平台的两端与大理石平台的上表面两侧固定连接；精密移动滑台固定设置于大理石平台的凹槽内，对位纠偏平台活动安装于精密移动滑台上；基板移动滑台的两端活动设置于大理石平台的上表面两侧，并位于对位纠偏平台和框架平台之间；显微视觉位移机构设置于框架平台的侧面；显微视觉位移机构响应指令采集图像和成像位置；上位机对图像和成像位置进行成像位置搜索，确定近零间隙值；解决了现

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117268274A

    (43)申请公布日2023.12.22

    (21)申请号202311348232.1

    (22)申请日2023.10.17

    (71)申请人广东工业大学

    地址510060

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