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一种晶圆抓取装置.pdfVIP

一种晶圆抓取装置.pdf

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    本发明公开了一种晶圆抓取装置，涉及晶圆搬运技术领域，包括：传感器模块、晶圆抓取爪及基座；所述晶圆抓取爪固定于所述基座上，所述传感器模块包括晶圆图形检测装置，所述晶圆图形检测装置设置于所述晶圆抓取爪背离所述基座的一侧，用于对晶圆盒内部的晶圆存储情况进行检测。优点在于：将括晶圆图形检测装置集成在晶圆抓取爪上，从而实现在晶圆抓取传输的同时实现对晶圆的存储情况进行检测，操作简单快捷；无需单独使用晶圆检测系统进行晶圆检测，节约使用成本。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117276175A

    (43)申请公布日2023.12.22

    (21)申请号202310869549.3

    (22)申请日2023.07.14

    (71)申请人上海大族富创得科技股份有限公司

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