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JJF1331—2011

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电感测微仪校准规范

1范围

本规范适用于分辨力(分度值)(0.01～10)μm、标称范围(-1000～+1000)μm

电感测微仪的校准。

2引用文件

GB/T26094—2010电感测微仪

GB/T26095—2010电子柱电感测微仪

GB/T26097—2010数显电感测微仪

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3术语

3.1零位平衡zerobalance

在转换电感测微仪量程挡位时，各挡零位示值的一致性。

3.2示值变动性thevariationindication

在相同测量条件下，仪器对同一被测量进行多次重复测量其结果之间的最大差异。

4概述

电感测微仪是一种测量微小位移量的高准确度测量仪器，它由轴向或旁向电感传感器(测头)将位移量转换成电信号，通过显示装置将被测量显示出来。电感测微仪按显示装置的不同分为数显式、指针式和电子柱式三种型式。其外形见图1、图2、图3。

图1数显式电感测微仪

1—数字表；2—测量功能选择开关；3—量程转换开关；4—放大倍数调整旋钮；5—零位调整旋钮；6—轴向测头

图2指针式电感测微仪

1—指针；2—指示表；3—放大倍数调整旋钮；4—量程转换开关；5—测量功能选择开关；6—轴向测头

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图3电子柱式电感测微仪

1—量程转换开关;2一平衡电位器,3—放大倍数调整旋钮;4“—”超指示灯;5—合格指示灯;

6—“+”超指示灯；?“+”超量程指示灯；8—指示光柱；9“-”超量程指示灯；

10—零位调整旋钮；11—轴向测头

5计量特性

5.1零位平衡

零位平衡不超过表1的规定。

5.2漂移

漂移不超过表1的规定。

5.3示值变动性

示值变动性不超过表1的规定。

5.4轴向测头测杆径向受力对示值的影响

轴向测头测杆径向受力对示值的影响应不超过表1的规定。

表1计量特性

电感测微仪的型式

零位平衡

示值变动性

轴向测头测杆径

向受力对示值的影响

μm

漂移

μm

数显式

2个分辨力

0.03μm

0.04

0.2

指针式

1/2个分度值

1/3个分度值

0.1

0.1

电子柱式

1个分度值

1个分度值

0.2

0.2

5.5测力及测力变化

测力不大于设计规定值，测力变化不超过测力值的±20%。

5.6示值误差

5.6.1数显式电感测微仪分辨力为0.01μm挡位的最大允许误差为±0.08μm;其他

各挡位的最大允许误差δ;按式(1)计算。

δ=±0.3%(|s?|+l)(1)

式中：

s;——校准点的标称值，μm;

l——校准点挡位的量程，μm。

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5.6.2指针式电感测微仪分度值为0.1μm挡位的最大允许误差为±0.10μm;其他各

挡位的最大允许误差δ;按式(2)计算。

δ=±1%(|s;|+l)(2)

式中：

s:——校准点的标称值，μm;

l—校准点挡位的量程，μm。

5.6.3电子柱式电感测微仪各挡位最大允许误差不超过1个分度值。

5.7“和”与“差”演算示值误差

“和”与“差”演算的示值误差不超过演算范围的1%。

注：以上指标不是用于合格性判别，仅供参考。

6校准条件

6.1环境条件

6.1.1校准室温度(20±1)℃,温度变化不大于0.5℃/h,相对湿度不大于80%。

6.1.2校准室内应无影响测量的灰尘、振动、噪音、腐蚀性气体及较强磁场的影响。

6.1.3校准用的电源应避免电压突变。

6.2校准用设备

校准用设备见表2。

表2校准项目和校准用设备

序号

校准项目

设备名称及计量特性

1

零位平衡

测量台架

2

漂移

测量台架，3等量块

3

示值变动性

测量台架，3等量块

4

轴向测头测杆径向受力对示值的影响

测量台架，分度值0.01N测力计

5

测力及测力变化

测力仪MPE:±1%

6

示值误差

2等、3等量块，测量台架

7

“和”与“差”演算示值误差

2等、3等量块，测量台架

7校准项目和校准方法

校准前，电感测微仪和校准用器具等温平衡时间不少于4h,并使电感测微仪通电预热大于30min。用旁向测头校准时，其测杆轴线应和台架工作面的垂直方向垂直。

首先检查外观和各部分的相互作用，确定没有影响校准计量性