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2023-12-28 发布于四川
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本申请提供一种固定装置，包括：第一固定板，第一固定板包括安装部和两个连接部，安装部用于装配电子标签，两个连接部在安装部的相对两侧对称分布；连接部包括连接主体、位于连接主体边缘的第一卡接部和位于连接主体端部的第二卡接部；连接主体与安装部适配；第二固定板，第二固定板与第一固定板连接，用于固定连接至晶圆传输盒，第二固定板与第一固定板的连接面上设置有两个与第一卡接部配合连接的第一卡位部以及两个与第二卡接部配合连接的第二卡位部。本申请提供的固定装置能够可靠地将电子标签固定在晶圆传输盒上，以降低天车在传输晶

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220253212U

(45)授权公告日2023.12.26

(21)申请号202321878118.5

(22)申请日2023.07.17

(73)专利权人中芯国际集成电路制造（天津）有

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