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一种可控制加热温度的CVD设备.pdfVIP

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  • 2023-12-30 发布于四川
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一种可控制加热温度的CVD设备.pdf

    本实用新型提供一种可控制加热温度的CVD设备，包括加热炬、加热管以及旋转装置，加热炬的腔体内部设有加热组件，加热管贯穿设置于加热炬的腔体内部，旋转装置包括进气管、旋转电机以及联动组件，进气管与加热管的一端固定连接、且二者相连通，联动组件包括转轴、第一皮带轮、第二皮带轮以及皮带，转轴与旋转电机传动连接，第一皮带轮固定连接于转轴上，第二皮带轮固定连接于进气管上，皮带套设于第一皮带轮和第二皮带轮上，旋转电机的转动，带动联动组件运动，以使与联动组件固定连接的加热管在加热炬的腔体内部转动，本实用新型中的可

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220265839U

    (45)授权公告日2023.12.29

    (21)申请号202321457935.3

    (22)申请日2023.06.08

    (73)专利权人江西兆驰半导体有限公司

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