半导体器件精密清洗及LED制造装备建设项目环评报告书.pdfVIP

盐亭县应友光电（二期）半导体器件精密

清洗及LED制造装备建设项目

环境影响报告书

（公示稿）

编制单位：四川石莹科技有限公司

建设单位：绵阳应友光电科技有限公司

2023年8月

盐亭县应友光电（二期）半导体器件精密清洗及LED制造装备建设项目环境影响报告书

1概述

1.1项目由来及建设项目的特点

1.1.1项目由来

随着半导体、LCD-TFT、LED等高新技术产业的快速发展，催生了一大批服务配套产业

诞生和兴旺，其中就包含设备零部件洗净服务产业。半导体、LCD-TFT、LED等设备在日常

生产中表面将形成沉积膜，无法满足正常生产需求，需要清洗干净后才能在利用。洗净服务是

新设备零部件组装前必不可少的关键环节，也是使用中的设备日常保养和维护的重要措施和必

要环节。设备零部件洗净市场的服务产品几乎涵盖了整个工艺制程的设备零部件，其中以刻蚀

设备和薄膜生长设备零部件业务为主，其他工艺制程的设备零部件（如离子注入、