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本发明涉及红外光源技术领域，提供了一种陶瓷支撑梁式的MEMS红外光源及其制造方法；所述MEMS红外光源包括单晶硅衬底、陶瓷支撑梁、加热丝层、绝缘层、辐射层，以及刻蚀在单晶硅衬底上的空腔；所述制备方法包括单晶硅衬底、陶瓷支撑梁、加热丝层、绝缘层、辐射层、空腔的制备；通过采用陶瓷材料作为MEMS红外光源的支撑梁结构，陶瓷材料具有更低导热系数，隔热效果更加显著，从而减少热量散失，降低MEMS红外光源工作功耗；陶瓷材料的膨胀系数更低，能够避免长期通电断电产生热胀冷缩现象造成悬膜结构凹凸不平的问题，加热丝
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117303302A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311277414.4
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人中微龙图电子科技无锡有限责任公
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