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一种触控器件的铜合金触控靶材的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-12-30 发布于四川
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一种触控器件的铜合金触控靶材的制备方法.pdf

    本发明公开了一种触控器件的铜合金触控靶材的制备方法，其技术方案要点是：包括以下具体步骤：步骤1、靶材掺杂元素的选取和配比：根据最终所需达到膜层性能，从Zr、Cr、Zn、Al中选取计算，并分析出靶材元素掺杂元素种类和配比；步骤2、真空熔炼：将计算配比好的单质或合金原料投入真空熔炼炉中；成分创新，膜层稳定性：纯铜靶材镀膜后膜层具有很高的导电性，而掺杂了Zr、Cr、Zn、Al等元素中的一种或多种可增强靶材镀膜膜层的抗氧化性、机械强度等，且满足膜层电导率≥70％IACS，通过引入惰性气体充分排气也能降低

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117305783A

    (43)申请公布日2023.12.29

    (21)申请号202311183821.9C21D9/00(2006.01)

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