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- 2024-01-03 发布于四川
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本发明涉及磁传感器、磁传感器的制造方法及感应元件集合体。本发明的课题是降低由同一基板形成的多个感应部或多个磁传感器之间的磁特性差异。本发明的解决手段如下。磁传感器具备基板、和设置于基板上的感应部,所述感应部具有长边方向和短边方向,并且通过磁阻抗效应来感应磁场,感应部具有:软磁体层,所述软磁体层由在与长边方向交叉的方向上具有单轴磁各向异性的软磁体形成,并且对磁场进行感应;和副软磁体层,所述副软磁体层被层叠在基板与软磁体层之间,并且由饱和磁化比软磁体层大的软磁体形成。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117331002A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202310755962.7
(22)申请日2023.06.26
(30)优先权数据
2022-106078202
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