原创力文档- 10
- 0
- 约1.38万字
- 约 15页
- 2024-01-06 发布于四川
- 举报
本实用新型涉及异质结太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种磁控溅射传动装置及磁控溅射设备。磁控溅射传动装置包括载板及传输轨道，载板用于承载待镀膜的硅片，传输轨道上设置有第一悬浮永磁条，载板上设置有第二悬浮永磁条和导向永磁铁，第一悬浮永磁条和第二悬浮永磁条均沿传输轨道的长度方向延伸，并且极性相斥且相对设置，以使载板和传输轨道之间呈悬浮状态，传输轨道与导向永磁铁相对的一侧上沿传输轨道的长度方向间隔设置有多个电磁铁，通过调节各个电磁铁的极性驱动载板沿传输轨道磁悬浮移动。磁控溅射设备通过应用上述磁控溅射传
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220300836U
(45)授权公告日2024.01.05
(21)申请号202321794626.5H01L21/677(2006.01)
文档评论（0）