原创力文档名目
第一章工程概述 7
一、工程名称及工程单位 7
二、工程建设地点 7
三、可行性争论范围 7
四、编制依据和技术原则 7
五、建设背景、规模 8
六、工程建设进度 9
七、环境影响 9
八、建设投资估算 9
九、工程主要技术经济指标 9
主要经济指标一览表 10
十、主要结论及建议 11
其次章背景及必要性 12
一、成熟工艺设备：国外生产意愿不强，国产设备存在替代空间 12
二、区域：国内为主，投资强劲，对集成电路设备需求更为猛烈 12
三、工程实施的必要性 13
第三章市场推测 14
一、薄膜沉积设备，国内公司在特别工艺领域与国际巨头差距较小 14
二、
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