英文原子层沉积改性有序介孔二氧化硅膜.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

DOI:10.1002/cvde.201106931

FullPaper

AtomicLayerDeposition-ModiﬁedOrderedMesoporous

SilicaMembranes**

ByDavidE.CassidyandWilliamJ.DeSisto*

Mesoporoussilicamembranes,preparedbysurfactant-templatingwithaporediameterof4nmonanaluminasupport,are

modiﬁedbyatomiclayerdeposition(ALD)ofaluminumoxide.ALDofaluminumoxideisachievedusingtrimethylaluminum

(TMA)andwaterasreactants.Membranesmodiﬁedupto50ALDreactioncyclesarecharacterizedperiodicallyduring

progressivereactioncyclestoprovidedetailsoftheporemodiﬁcationprocess.Adecreaseinlightgaspermeance,poresize

distributionshifttolowerporesizes,andadecreaseinporosityprovideevidenceforpore-sizereductionthroughALD.Further

analysisofthedataindicatesthattheALDreactionfavorslargerporesanddefects,andbecomeslessefﬁcientastheporesize

decreases.

1.IntroductionseveralreactionchemistriesincludingSiO,AlO,TiO,

2232

andothers.

Asuperiorgas-separationmembranewillbeultrathinforInapplyingALDtomembranesynthesis,theultimate

highthroughput,andhomogeneousinporesize,withahighgoalishighlyeffectivemolecularseparations.Thisis

porosity/lowtortuosityformaximummolecularsieving.Inachievedbytuningtheﬁnalporesizeandsurface

addition,manyseparationapplicationsrequirethethermo-functionality.Astheporediametershrinkstomolecular

chemicalstabilityprovidedbyinorganicmembranes.dimensions,theﬁnal

该用户很懒，什么也没介绍

咨询Ta 进入空间

更多 >