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今日自动化智能制造与设计2023年第4期

AutomationTodayIntelligentmanufacturingandDesign2023No.4

LPCVD+磷扩二合一设备的可行性研究

侯净雷，张华灿，张黎静，赵爱爽，郑伟

（晶澳太阳能有限公司，河北邢台055550）

［摘要］文章首先介绍了在光伏电池生产过程中，LPCVD和磷扩散设备的结构和工艺原理，阐述了LPCVD和磷扩散工艺

在TOPCon电池生产中，制备纳米级隧穿氧化层和磷掺杂多晶硅层的重要核心作用。然后介绍了TOPCon核心电池结构—隧穿

氧化层和磷掺杂多晶硅层的两种主流量产工艺路线（LPCVD路线和PE-poly路线），并重点阐述了LPCVD和PE-poly两种工

艺路线的优劣势分析，系统说明了LPCVD目前存在关键瓶颈难题以及解决方案，随着LP