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JJG77—2006

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干涉显微镜检定规程

1范围

本规程适用于双光束干涉显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。

2引用文献

本规程引用下列文献：

JJF1001—1998通用计量术语及定义

JJF1059—1999测量不确定度评定与表示

JJF1094—2002测量仪器特性评定技术规范

JJG812—1993干涉滤光片检定规程

使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。

3概述

干涉显微镜由干涉和显微系统组成，利用光波干涉原理来测量表面粗糙度参数。它是以范围为(530～600)nm的光波波长为标尺，将被测表面与标准光学镜面相比较再经显微系统高倍放大后，来观察和测量被测表面的微观几何形状特性。双光束干涉显微镜主要用于表面粗糙度评定参数R?的测量。该仪器可用来测量精密加工零件的表面如平面、圆柱面等外表面，也可用来测量零件表面刻线、镀层等深度。目前常用的仪器

外形如图1和图2所示。

1—调焦鼓轮；2—遮光屏；3—干涉带宽度、方向调节螺钉；4—参考镜微调螺丝；

5,6—工作台纵横向移动千分尺；7—工作台；8—光源；9—可换滤光片；

10—光阑；11—测微目镜；12—测微鼓轮；13—照相机或监视器装置

图1常用干涉显微镜外形图(一)

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(a)(b)

1—测微目镜；2—目视、照相转换钮；3—照相机或监视器装置；4—光源；5—干涉带宽度调节钮；

6—干涉带方向调节钮；7—参考镜微调螺丝；8—工作台高低移动(调焦)盘；9一工作台转动盘；

10—工作台平移盘；11—工作台；12—聚焦手轮；13—测微鼓轮；14一目镜头转座；

15—滤光片移动手柄；16—卷片扳手；17—快门；18—底座

图2常用干涉显微镜外形图(二)

仪器的光路系统简图分别如图3和图4所示。

1一光源；2—聚光镜；3—干涉滤光片；4—投影物镜；5一分光镜；6—补偿镜；

7,8,10—物镜；9—参考镜；11,14—反射镜；12—测微目镜；

13—照相物镜；15—影屏；16—孔径光阑；17—视场光阑

图3光路系统(一)

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1—光源；2—分光镜；3,4—物镜组；5—目镜组；6—照相物镜组；

7一反射镜(目视、照相转换);8—遮光板(干涉、显微转换);9—参考镜；10—影屏

图4光路系统(二)

4计量性能要求

4.1干涉滤光片的特性

干涉滤光片的中心波长范围在(530～600)nm,波长半宽度不超过10nm;一年内

最大变化不超过3nm。

4.2测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离

测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离不超过0.4mm。

4.3测微目镜十字线分划板的指标线与毫米分划板刻线的相对位置

测微目镜十字线分划板的指标线(该指标线为双刻线)应与毫米刻线平行；十字线

分划板运动方向与毫米刻度尺轴线的平行度不超过毫米刻线长度的1/10。

4.4测微目镜测微鼓轮刻线与毫米分划板刻线的相符性

4.4.1当十字线分划板的指标线对准毫米刻度尺的零刻线时，测微鼓轮的零位刻线应对准固定套管上的指标线，其偏移量不超过1/5个分度。

4.4.2十字线分划板的指标线移动1mm时，测微鼓轮刻线应转过100个分度，其偏移量不超过1个分度。

4.5测微目镜的示值误差

在任意一周(1mm)内最大允许误差：0.005mm;在全程(8mm)内最大允许误

差：0.010mm。

4.6光学系统成像质量

4.6.1视场内干涉条纹与被测表面的像应同时清晰；对于图2所示仪器，被测表面的

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像与仪器视场下方的刀口像应同时清晰。当仪器用白光照明时在视场中部应能看见6~8条干涉条纹，其中彩色的条纹基本对称地排列在黑色条纹的两侧。当用单色光照明

时，干涉条纹充满整个视场，至少有50%的干涉条纹清晰。

4.6.2干涉条纹的宽度和方向应能任意调节。干涉条纹在移动中，其宽度和方向不应有变化。

4.6.3使用测微目镜观察时，视场中干涉条纹在水平和垂直两个位置上的弯曲量对于使用中的仪器不超过条纹间隔的1/4;对于新制的仪器不超过1/5。

4.7工作台与主光轴的相互位置

4.7.1工作台转动时，干涉条纹间隔的变化不超过10%。

4.7.2对于图1所示仪器，在移动工作台10mm范围内，物距变化不超过仪器调焦鼓轮的3.5个刻度；对于图2所示仪器，工作台移动到任意位置时，视场中央的白光干涉条纹