图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究.pdfVIP

ＡｐｐｌｉｅｄＭａｔｈｅｍａｔｉｃｓａｎｄＭｅｃｈａｎｉｃｓ

４４卷４期２０２３年４月Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．４，Ａｐｒ．，２０２３

ⓒ应用数学和力学编委会，ＩＳＳＮ１０００⁃０８８７ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ａｐｐｌｍａｔｈｍｅｃｈ．ｃｎ

图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究∗

１１１２

陈龙，肖夏，张立，戚海洋

（１．天津大学微电子学院，天津３０００７２；

２．浙江省计量科学研究院，杭州３１００６３）

摘要：基于分层材料等效弹性性质理论，建立了单大马士革和双大马士革结构的细观力学等效模型．通过引入图

形化结构等效弹性常数，建立了声表面波在图形化薄膜／衬底分层结构中的传播模型，利用Ｇｒｅｅｎ函数和矩阵法计

算得到了表面波理论色散曲线．采用有限元法计算了２４种不同体积比的大马士革结构数值算例，并与能量法计算

结果进行了对比验证．结果表明，厚度为３００ｎｍ的双大马士革薄膜和厚度为１００ｎｍ的单大马士革薄膜等效弹性模

量平均相对误差分别为２．０６％和２．２７％．验证了等效图形化结构模型的正确性以及声表面波方法表征图形化薄膜

机械特性的可行性，研究结果可为开发适用于图形化薄膜、低压力的化学机械抛光工艺提供参考．

关键词：声表面波；大马士革结构；图形化薄膜；等效弹性模量；数值模拟

中图分类号：Ｏ３４１；ＴＮ４７文献标志码：ＡＤＯＩ：１０．２１６５６／１０００⁃０８８７．４３００５０

ＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔｉｃＷａｖｅＣｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆＥｑｕｉｖａｌｅｎｔ

Ｙｏｕｎｇ’ｓＭｏｄｕｌｉｆｏｒＰａｔｔｅｒｎｅｄＦｉｌｍｓ

１１１２

ＣＨＥＮＬｏｎｇ，ＸＩＡＯＸｉａ，ＺＨＡＮＧＬｉ，ＱＩＨａｉｙａｎｇ

（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ＴｉａｎｊｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｔｉａｎｊｉｎ３０００７２，Ｐ．Ｒ．Ｃｈｉｎａ；

２．ＺｈｅｊｉａｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００６３，Ｐ．Ｒ．Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｅｑｕｉｖａｌｅｎｔｅｌａｓｔｉｃｉｔｙｔｈｅｏｒｙｆｏｒｌａｙｅｒｅｄｍａｔｅｒｉａｌｓ，ｔｈｅｍｉｃｒｏ⁃ｍｅｃｈａｎｉｃｓｅｑｕｉｖａｌｅｎｔｍｏｄ⁃

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