浙江海芯半导体科技有限公司高品级大尺寸单晶CVD金刚石项目环境影响报告.docxVIP

浙江海芯半导体科技有限公司高品级大尺寸单晶CVD金刚石项目环境影响报告.docx

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CCTEGHangzhouEnvironmentalResearchInstitute煤科集团杭州环保研究院有限公司

CCTEGHangzhouEnvironmentalResearchInstitute

建设项目环境影响报告表

项目名称:高品级大尺寸单晶CVD金刚石项目

建设单位(盖章):浙江海芯半导体科技有限公司

编制日期:2020年5月

目录

1建设项目基本情况 1

2建设项目所在地自然环境社会环境简况 6

3环境质量状况 16

4评价适用标准 19

5建设项目工程分析 23

6项目主要污染物产生及预计排放情况 30

7环境影响分析 31

8建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果 46

9“各项审批原则”分析 47

10结论与建议 51

附图:

附图1:项目地理位置图

附图2:项目周围环境图及噪声监测点位示意图

附图3:总平面布置图

附图4:项目四周环境概况

附图5:环境功能区划图

附图6:水环境功能区划图

附图7:项目与“湖州现代物流装备高新区”位置关系图

附件:

1、备案信息表

2、营业执照、法人身份证

3、土地出让合同

1

1建设项目基本情况

项目名称

高品级大尺寸单晶CVD金刚石项目

建设单位

浙江海芯半导体科技有限公司

法人代表

联系人

通讯地址

浙江省湖州市吴兴区高新区中横港路33号2号厂房5号

联系电话

传真

/

邮政编码

313000

建设地点

浙江省湖州市吴兴区高新区戴东单元ZX-01-02-03E-1号地块

备案部门

吴兴区发改委

项目代码

2019-330502-30-03-826588

建设性质

新建

行业类别

C3099其他非金属矿物制品制造

用地面积(亩)

50

绿化面积(m2)

/

总投资

(万元)

30000

其中:环保投资

(万元)

100

环保投资

占总投资

比例

0.33%

评价经费

(万元)

/

预计投产日期

2021年12月

1.1工程内容及规模

1.1.1项目由来

由于天然金刚石的稀缺且价格昂贵,工业金刚石主要依赖于人工合成。从上世纪发展起来的人工合成金刚石技术主要有高温高压法和化学气相沉积法。其中,化学气相沉积方法在制备大面积、掺杂金刚石方面具有高温高压方法无法相比的优势。2002

年,微波等离子体技术率先取得突破,目前已可以制备出10克拉量级的单晶体。

浙江海芯半导体科技有限公司拟选址湖州南太湖高新技术产业园区实施高品级大尺寸单晶CVD金刚石项目,项目总投资30000万元,占地面积50亩,采用国内外先进的MPCVD(微波等离子体化学气相沉积法)工艺,形成年产10万克拉高端

工具级金刚石、培育钻石、金刚石半导体衬底的生产能力。

根据对照国民经济行业分类(GBT4754—2017)2017年本,本项目属于309“石墨及其他非金属矿物制品制造”的3099“其他非金属矿物制品制造”中的“人造金

刚石:金刚石单晶、金刚石多晶、带金属衬底的金刚石聚晶(PDC)、不带金属衬底

2

的金刚石聚晶(PCD)”。根据《中华人民共和国环境影响评价法》和国务院第682号令《建设项目环境保护管理条例》等,建设项目须履行环境影响评价制度,对照《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2018年),本项目属于十九、“非金属矿物制品业”中的56“石墨及其他非金属矿物制品”的“其他”应编制环境影响报告表。受浙江海芯半导体科技有限公司委托,煤科集团杭州环保研究院有限公司承担了该项目

环境影响报告表的编制工作,我公司经过现场勘察及工程分析,依据《环境影响评价

技术导则》的要求编制完成该项目的环境影响报告表,提请审查。

1.1.2项目编制依据

(1)《中华人民共和国环境保护法》(2015年1月1日起施行);

(2)《中华人民共和国环境影响评价法》(2018年12月29日起施行);

(3)《中华人民共和国水污染防治法》(2018年1月1日起施行);

(4)《中华人民共和国大气污染防治法》(2018年10月26日起施行);

(5)《中华人民共和国环境噪声污染防治法》(2018年12月29日起施行);

(6)《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》(2016年11月7日起施行);

(7)《太湖流域管理条例

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