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湿制程理论试题及答案.doc

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    湿制程理论试题及答案

    一、不定项选择题（共20题，每题2分，共40分）

    1.刻蚀影响过刻的影响因素以下哪条是错误的（）[单选题]

    A、槽体尺寸大小(正确答案)

    B、腐蚀液浓度

    C、刻蚀槽体水平

    D、水膜量大小

    2.单晶制绒槽所需的化学品有哪些（）

    HF(正确答案)

    H2O2(正确答案)

    NaOH(正确答案)

    添加剂(正确答案)

    3.在进入刻蚀槽前，片子表面需要覆盖一层()[单选题]

    醋酸

    DI水(正确答案)

    HF

    硝酸

    4.以下不是单晶前清洗（制绒）各槽体发生的化学反应式的是()[单选题]

    NaOH+Si→Na2SiO3+H2

    SiO2+HF→H2

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