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本发明公开一种芯片测试装置和芯片测试系统，其中，芯片测试装置包括测试台和压块，测试台的顶面设有凹槽，凹槽的两个相对的侧壁上分别设有进气孔和出气孔，凹槽的底部设有多个探针；测试台的外壁设有吹气孔和抽气孔，吹气孔与进气孔连通，抽气孔与出气孔连通；压块可拆卸地设于测试台的顶侧，压块的底侧正对凹槽的位置设有压持部，用于压持凹槽中的芯片；压块内部设有进气通道和出气通道，进气通道与吹气孔连通，出气通道与抽气孔连通。本发明技术方案，提高了芯片测试的良率，进而保证了芯片的产能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117420421A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311631704.4
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人成都态坦测试科技
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