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本发明涉及夹持装置技术领域，具体涉及一种晶圆传送用充气夹持装置，包括固定臂，所述固定臂的一端固定连接有连接套，连接套的内部固定连接有转动柱，固定臂的内部固定连接有气缸。本发明通过气缸配合通气道向伸缩气囊充气，伸缩气囊注气膨胀，上下两个伸缩气囊因为膨胀相互靠近，直至通过橡胶夹板对晶圆进行固定夹持，可以通过伸缩气囊的膨胀效果对晶圆片进行夹持，产生柔性夹持的效果，可以防止硬性结构夹持对晶圆造成损坏，通过扇轮转动，配合转动机构带动橡胶拨轮转动，迫使被两个橡胶夹板固定的晶圆片转动，通过晶圆片本身被切割出的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117423652A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311636600.2
(22)申请日2023.12.01
(71)申请人苏州赛美达半导体科技有限公司
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