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本发明提供能够减少校准的工时的检查装置。检查装置具备支承工件的支承部、生成包括工件的图像的摄像数据的摄像部、以及对摄像数据进行用于评价工件的图像处理的控制部。支承部在该支承部的表面中的不与工件接触的非接触区域具有包含槽的雕刻部，该雕刻部成为被用作检查基准的校对规。摄像部的摄像范围包含雕刻部。控制部使用作为雕刻部的图像的校对规图像和预先存储的雕刻部的尺寸对工件进行评价。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117434070A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202310850725.9G01N21/13(2006.01)
(22)申请日2023.07.
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