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本公开实施例提供一种光集成器件及其制造方法,该光集成器件包括第一光芯片,包括:光栅耦合波导;第二光芯片,与第一光芯片堆叠,包括:光源和反射结构;其中,光源用于发射光信号;反射结构包括凹面,凹面朝向光源和光栅耦合波导;凹面用于反射光源发射的光信号,并将光信号聚焦至光栅耦合波导。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117471622A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311587511.3
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人武汉光谷信息光电子创新中心有限
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