表面粗糙度及表面微观形貌测量.pptVIP

§2外表轮廓的非接触测量方法一、光学探针光学探针是采用透镜聚焦的微小光点取代金钢石针尖，外表轮廓高度的变化通过检测焦点误差来实现。1、激光三角法探针2、临界角法探针*非接触式轮廓仪1、激光三角法探针s分辨率表达式：散射面探测器CCD,PSDZ与I(输出电压)成比例位置探测器PSD(PositionSensitiveDevice)：〔半导体光电〕位置传感器PSD是一种光电测距器件。PSD基于非均匀半导体“横向光电效应〞，器件对入射光或粒子到达位置敏感。PSD由四局部组成：PSD传感器、电子处理元件、半导体激光源、支架〔固定PSD光传感器与激光光源相对位置〕。

??PSD的主要特点是位置分辨率高、响应速度快、光谱响应范围宽、可靠性高，处理电路简单、光敏面内无盲区，可同时检测位置的光强,测量结果与光斑尺寸和形状无关。由于其具有特有的性能，因而能获得目标位置连续变化的信号，在位置、位移、距离、角度及其相关量的检测中获得越来越广泛的应用。三角法粗糙度探头光学原理两个半导体激光器，采用分时工作工件位置敏感探测器ZI一维位置探测器原理示意图

光电流传感器检测精度:1微米，测量范围：毫米级2、临界角法探针理论根底：当入射角大于临界角时为全反射，反射光强等于入射光强；当入射角小于临界角时