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本实用新型公开了一种晶圆传输监测系统，包括：晶圆缓存箱；清洗夹爪，用于夹持晶圆并将其向晶圆缓存箱输送，其设有晶圆在位传感器，该晶圆在位传感器用于检测清洗夹爪上是否夹持有晶圆；中转工位，设有用于夹持晶圆的爪部，及用于检测爪部打开或闭合的位置传感器；清洗夹爪可夹持中转工位的晶圆，且当晶圆在位传感器检测到清洗夹爪夹持有晶圆之后，爪部打开的动作才会被所述位置传感器检测到，以使得清洗夹爪继续活动。本实用新型晶圆在位传感器和位置传感器配合，可以有效检测清洗夹爪和爪部的状态，保证晶圆的有效传输，避免晶圆在传输
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220439563U
(45)授权公告日2024.02.02
(21)申请号202321859974.6
(22)申请日2023.07.13
(73)专利权人杭州众硅电子科技有限公司
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