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    加速度传感器包括：内部形成有空腔的半导体基板；固定结构，其包括以相对于空腔悬浮的状态被支承于半导体基板的固定电极；和可动结构，其包括以相对于空腔悬浮的状态经由弹性结构被支承于半导体基板的可动电极，该可动电极能够相对于固定电极发生位移。弹性结构包括：被支承于半导体基板的第一端部；与可动结构连接的第二端部；和连接第一端部与第二端部的中间部，在中间部的至少一部分具有直线状延伸的直线部分，直线部分具有在该直线部分的延伸方向上彼此平行地延伸的多个直线框架。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117501132A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202280042444.4(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限

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