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本发明公开一种批量装载基片的载具、处理设备及其使用方法，其中，该载具设置有处理通道，所述处理通道内设置有至少一个处理工位，所述处理工位包括固定部件和可滑动部件，所述载具包括旁板，所述旁板设置有安装构件，所述安装构件设置有所述第一安装孔，所述第一安装孔用于装配所述可滑动部件。采用上述方案，可滑动部件具体是在安装构件的第一安装孔内进行滑动，而不直接和旁板进行接触，当第一安装孔处发生损坏时，直接对该安装构件进行更换即可，而无需对整个旁板进行整体拆装，维护作业相对简单，效率也可以较高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117524969A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311647421.9
(22)申请日2023.12.01
(71)申请人江苏微导纳米科技
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