成像系统.pdfVIP

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  • 2024-02-07 发布于四川
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一种用于成像系统以确定成像系统的照射光束的两个光学特性的板,成像系统被配置为用照射光束照射照射区域,板包括多个标记,其中多个标记的第一子集包括用于确定照射光束的第一光学特性的第一类型标记,多个标记的第二子集包括用于确定照射光束的第二光学特性的第二类型标记,多个标记位于板的标记区域内,并且标记区域大体上对应于照射区域。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117529691A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202280044013.1W·J·恩格伦

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