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本发明公开了一种超结器件,在过渡区中形成有P型环,版图结构包括:由正面金属层组成的栅极总线、栅极衬垫和源极金属层;源极金属层将所述栅极总线和所述栅极衬垫包围;栅极总线完全位于电荷流动区的区域内的上方;P型环将所述栅极总线和栅极衬垫都包围;源极金属层覆盖在栅极总线和所述栅极衬垫外的电荷流动区上方并延伸到P型环的上方;各栅导电材料层通过第一接触孔连接到对应的栅极总线或栅极衬垫,在P型环上形成有多个连接到源极金属层的第二接触孔,栅导电材料层和P型环之间的无相交结构使P型环的顶部各区域位置都能形成第二接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111883585A
(43)申请公布日2020.11.03
(21)申请号202010847245.3
(22)申请日2020.08.21
(71)申请人上海华虹宏力半导体制造有限公司
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