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本发明属于集成电路恒温自动化测试系统技术领域,具体涉及一种数字隔离芯片三温自动化测试机构系统,包括框体、测试装置、传送机构、制冷装置和六轴机架人,所述测试装置与传送机构可拆卸连接,所述传送机构位于测试装置的两侧,所述制冷装置与框体的侧壁活动连接,所述框体罩设于测试装置和传动机构上,所述六轴机架人位于框体内且与传动机构配合连接,所述六轴机架人的机械手位于测试装置上方,所述框体内壁上设有环形加热器,所述环形加热器上方设有温控器,且与框体内壁固定连接,本发明方便搭建,对产品拾取和摆放精度高,可保持测试
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538720A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202210921006.7
(22)申请日2022.08.02
(71)申请人上海芯哲微电子科技股份有限公司
地
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