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本发明提供一种全自由度微转印定位平台及转印检测装置，涉及微转印技术领域。包括五自由度定位平台装置、微力采集装置、工业相机、Z轴运动臂及安装在Z轴运动臂上的印章抓手和SMP印章，Z轴运动臂能使印章实现在Z轴方向上的移动，微转印定位平台能够满足微器件精确定位，从而提高转印精度，微力采集装置放置在微转印定位平台上，能够在显示器上显示实时采集转印过程中的微力值变化，工业相机与显示器相连，实现对转印过程图像的采集，最终将采集的数据和图像储存起来。本发明采用定位平台来保证转印过程高质量地完成，采用工业相机对
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117533029A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311831365.4
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人东北大学秦皇岛分校
地址066
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