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本发明提出一种新型快照式多光谱成像系统，属于光谱成像技术领域。快照式多光谱成像系统由滤光片阵列、主镜头、PDMS三维微透镜阵列以及黑硅光电探测器阵列组成。主镜头主要用于承担光学系统的主要光焦度，PDMS三维微透镜阵列和黑硅光电探测器阵列构成光场传感器，可以在一次曝光中获得四维光场信息，从而实现目标样品的快速实时探测。采用飞秒激光直写技术实现高精度、复杂三维结构的主镜头的制备，从而大幅度提高多光谱成像系统的成像质量。基于百TW/cm2高强度飞秒激光加工技术实现PDMS三维微透镜阵列模板以及黑硅光电
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220472802U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202220742857.0
(22)申请日2022.04.01
(73)专利权人海宁先进半导体与智能技术研究
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