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本发明属于电介质电容器技术领域，具体涉及一种多层复合电介质及其制备方法，利用原子层沉积技术或等离子体增强原子层沉积技术，在聚合物基底上沉积无机金属氧化层，形成有机无机交替多层结构。本发明可以通过化学键合将无机层与有机层结合起来，建立牢固的键合界面，还可以将无机层的厚度精确控制在纳米水平，以形成具有优异柔韧性的稳定多层复合材料。本发明复合电介质提高了介电常数、击穿场强与工作温度，因此提高了储能密度。同时，由于有机层具有较高的韧性，而本发明中的无机层厚度超薄，不会对有机层的韧性造成影响，即超薄无机和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117542656A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311807960.4
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人西安交通大学
地址710048
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