一种刀具涂层及其制备方法和应用.pdfVIP

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本发明提供了一种刀具涂层及其制备方法和应用,属于数控刀具技术领域。本发明采用气体离子源法对刀具进行刻蚀清洗后,通过高功率脉冲磁控溅射技术在刀具表面依次沉积金属打底层、类金钢石层、粘结层和氧化物隔热层。本发明将高脉冲磁控溅射技术用于制备刀具涂层,高脉冲磁控溅射技术具有高的原子离化率和较少的液滴团聚的特性,因此成膜所形成的涂层缺陷少,致密性和硬度高;本发明通过气体离子源去除刀具表面的氧化层后,利用金属打底层作为过渡层,能够提高刀具与涂层的结合力。本发明利用氧化物隔热层保护类金刚石层在铣削过程中不发生

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117568767A

(43)申请公布日2024.02.20

(21)申请号202311550234.9

(22)申请日2023.11.21

(71)申请人广东麦威尔科技有

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