原创力文档- 4
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- 2024-02-21 发布于四川
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本申请公开一种废气处理装置及半导体清洗设备，所公开的废气处理装置包括壳体、喷淋部和第一控制阀，壳体包括废气处理腔室，喷淋部设于废气处理腔室之内，且用于向废气处理腔室内喷淋废气吸收液；废气处理腔室设有废气进口、废气出口和第一连通口，废气出口与所废气进口连通，第一连通口用于连通旁路管道，第一控制阀设于第一连通口；在废气出口与废气进口之间处于气流通畅状态下，第一控制阀阻隔废气处理腔室与旁路管道；在废气出口与废气进口之间处于气流阻塞状态下，第一控制阀连通废气处理腔室与旁路管道，旁路管道用于将废气通过第一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117563391A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311491689.8
(22)申请日2023.11.09
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地
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