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第二节扫描电镜（SEM)

ScanningElectronMicroanalyzer

第一章电镜的基本原理电镜

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第一章电镜的基本原理电镜

第一章电镜的基本原理电镜

•工作原理：从电子枪发射出来的电子束，经两级聚束镜、

偏转线圈和物镜射到试样上。由于高能电子束与试样物质

的交互作用，结果产生了各种信号。其中最重要的是二次

电子，这些信号被相应的接受器接受，经放大器放大后，

送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。由于经过扫描

线圈上的电流是与显像管相应的偏转线圈上的电流同步，

因此试样表面任意点发射的信号与显像管荧光屏上相应的

亮度一一对应。即电子束打到试样上一点时，在显像管荧

光屏上出现一个亮度。而我们所要观察试样一定区域的特

征，扫描电镜则是采用逐点成像的图像分解法显示出来的。

图像为立体形象，反映了标本的表面结构。如样品为非金

属不导电材料，为了使样本表面发射出次级电子，样本表

面要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发

出次级电子信号。

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二、扫描电镜的最大特点

★焦深大，图像富有立体感，特别适合于表面形

貌的研究

★放大倍数范围广，从十几倍到几十万倍，几乎

覆盖了光学显微镜和TEM的范围

★样品的电子损伤小

这些方面优于TEM，所以SEM成为高分子材料常用

的重要剖析手段

★样品制备较简单，甚至可以不作任何处理。并且样品

可以很大，如直径可达10cm以上

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三、SEM与TEM的主要区别

★在原理上，SEM不是用透射电子成像，而是

用二次电子加背景散射电子成像。

★在仪器构造上，除了光源、真空系统相似外，检测

系统完全不同。

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四、扫描电镜(SEM)的主要参数

分辨率

SEM的分辨率主要受到电子束直径的限制，这里电

子束直径指的是聚焦后扫描在样品上的照射点的尺寸。

对同样品距的二个颗粒，电子束直径越小，越随得到

好的分辨效果，电子束直径越小，信噪比越小。。

二次电子由于作用区最小因而像的分辨率最高，接近

电子束斑直径。其他如背散射电子、X射线以及阴极

荧光等作用区较大因而像的分辨率较低

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放大倍数

SEM的放大倍数与屏幕分辨率有关

•扫描电镜像的放大倍率(M)由屏的大小(某边长乚)与电子束

在样品上扫描区域的大小(对应边长l)的比例决定：M=l/L。

通常显像管屏的大小是固定的，而电子束扫描区域大小很

容易通过改变偏转线圈的交变电流的大小来控制。因此扫

描电镜的放大倍数很容易从几倍一直达到几十万倍，而且

可以连续地迅速地改变，这相当于从放大镜到透射电镜的

放大范围。这是扫描电镜的一大优点。

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焦深

焦点深度(即焦深)：焦深是指保持像清晰(即保持一定

的分辨率)的条件下，物面允许的移动范围。大的焦

深不仅使聚焦变得容易，而且对于凹凸不平的样品仍

然获得清晰的像，从而增强了像的立体感，使图象易

于分析。扫描电镜的焦深很大，这是由于电子束孔径

角很小的原因。从而造成扫描电镜像的立体感非常强，

这也是扫描电镜的另一大优点。

SEM的焦深是较好光学显微镑的300－600倍。

焦深大意味着能使不平整性大的表面上下都能聚焦。