原创力文档- 5
- 0
- 约2.71万字
- 约 18页
- 2024-02-24 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种双面多波段光电探测器及其制备方法，本双面多波段光电探测器包括硅基衬底层和硅半导体绝缘层，所述硅半导体绝缘层一侧设有相邻设置并用于探测紫外波段的第一探测功能层和用于探测短波红外波段的第二探测功能层；所述所述硅半导体绝缘层的另一侧与第一探测功能层和第二探测功能层相对位置设有用于探测可见光波段的第三探测功能层；所述第三探测功能层包括设置在所述硅半导体绝缘层上的硅基衬底层。本探测器将三个探测功能层集成并设置在同一硅半导体绝缘层的两侧，支持多波段探测，且功耗低、抗干扰能力强、工作效率高；并
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117594687A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311588308.8H01L31/103(2006.01)
文档评论（0）