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在对形成有红外线穿透的保护层的基板(9)进行检查的基板检查装置(1)中，设置可见光照射部(13)和红外线照射部(14)。拍摄部(11)同时从基板(9)接收可见光和红外线，获取用于检查基板(9)的检查图像。其中，相较于由拍摄光学系统(12)形成基板(9)的红外线的像的位置，拍摄部(11)的拍摄面在光轴方向的位置更接近由拍摄光学系统(12)形成基板(9)的可见光的像的位置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589795A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311007214.7H04N23/50(2023.01)
(22)申请日2023.08.
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