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本发明公开了一种分子泵轴承外圈径向均布高精度微孔加工工艺，包括以下步骤：选择合适微钻：多类型微钻同等对比试验，经综合性能、价格因素以及结合市场上可获得性综合考量，最终采用Φ0.4mm钻尖165°大螺距硬质合金定柄钻；设计微孔钻模；加工设备和基本参数确定；曲面加工：以外圆为零点，进给量f＝8mm/min，切削深度达h＝0.15mm时，停顿0.5s，使微钻能消除漂移；主体钻孔切削：每次切削深度达到h＝0.2mm时微钻退出被加工孔进行排屑与散热，退刀速度f＝60mm/min。本发明通过对微钻的选择、钻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117583646A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311793152.7
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人上海天虹微型轴承
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