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一种能量色散x射线光谱(EDX)感测单元，所述EDX感测单元包括保护单元和x射线传感器，所述x射线传感器包括一个或多个感测区域。保护单元被配置为(i)引入从样品发射的电子的一个或多个属性的变化，从而防止从样品发射的电子到达一个或多个感测区域，由于主电子束照射样品而从样品发射电子，以及(ii)增加EDX感测单元的操作安全性。x射线传感器被配置为(i)通过一个或多个感测区域接收由于样品的照射而从样品发射的x射线光子，以及(ii)生成指示x射线光子的检测信号。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589808A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311050732.7
(22)申请日2023.08.18
(30)优先权数据
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