半导体工艺与制造技术习题答案(第四章 离子注入).pdfVIP

第四章离子注入与快速热处理

1.下图为一个典型的离子注入系统。

（1）给出1-6数字标识部分的名称，简述作用。

（2）阐述部件2的工作原理。

25

3

4

1

6

答：（）：离子源，用于产生注入用的离子；

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2：分析磁块，用于将分选所需的离子；

3：加速器，使离子获得所需能量；

4：中性束闸与中性束阱，使中性原子束因直线前进不能达到靶室；

5：XY扫描板，使离子在整个靶片上均匀注入；

6：法拉第杯，收集束流测量注入剂量。

（）由离子源引出的离子流含有各种成分，中大多数是电离的，离子束进入一个低压腔

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体内，该腔体内的磁场方向垂直于离子束的速度方向，利用磁场对荷质比不同的离子