传感器技术与应用 - 课件 第11章 气敏与离子敏传感器 .pdf

传感器技术与应用

传感器技术与应用

学习内容

第11章

教材（2024版）

学习内容，P1-19

作业，P18-19

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传感器技术与应用

第11章绪论

11.1气敏传感器

11.2离子敏传感器

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第11章绪论

11.1气敏传感器

◼气敏传感器将检测到的气体成份和浓度转换为电信号的传感器；

11.2离子敏传感器

◼20世纪30年代发现氧化亚铜导电率随水蒸气吸附而发生改变，其后发现其

它许多金属氧化物如SnO、ZnO、WO、VO、CdO、FeO也有气敏

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效应，具有代表性的是SnO系和ZnO系气敏元件；

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◼金属氧化物利用陶瓷工艺制成，具有半导体特性，故称半导体陶瓷，简称

半导瓷

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11.1气敏传感器

11.1.1气敏元件工作机理

11.1.2常用气敏元件的种类

11.1.3气敏元件的几种应用实例

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，

11.1.1气敏元件工作机理

1.基本原理

◼气敏半导瓷材料二氧化锡（SnO）是N型半导体，其

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导电机理源自吸附效应；

◼图a为烧结体N型半导瓷模型，该材料为多晶体；

◼Rn为颈部等效电阻，Rs为晶粒等效表面电阻，Rb为晶

粒等效体电阻；导电通路等效电路如图b；

◼晶粒等效体电阻Rb阻值较低，被短路；因而图b可简abc

化为图c，特性主要取决于颈部等效电阻Rn；气敏半导瓷吸附效应

◼半导瓷气敏电阻阻值依赖吸附气体的种类和数量；模型示意图

◼半导瓷气敏电阻工作时通常需要加热；器件加热到稳

定状态下，有气体吸附时，吸附分子首先在表面自由

扩散，一部分分子会蒸发，一部分分子固定在吸附处

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传感器技术与应用

，

11.1.1气敏元件工作机理

1.基本原理

◼气敏半导瓷材料二氧化锡（SnO）是N型半导

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体，其导电机理源自吸附效应；

◼O2和氮氧化合物倾向于负离子吸附，为氧化型

气体，气体吸附到N型半导体上载流子减少，

电阻率增大；

◼H2、CO碳氢化合物和酒类倾向于正离子吸附

，为还原型气体，吸附到N型半导体上，载流N型半导体吸附气体

子增多，电阻率下降；时的器件阻值变化

◼图为气体吸附到N型半导体时所产生的器件阻

值