传感器技术与应用 课件 第4章 硅压阻式传感器 .pdf

传感器技术与应用

传感器技术与应用

学习内容

第4章

教材（2024版）

学习内容，P1-19

作业，P18-19

2

传感器技术与应用

第4章压阻式传感器

4.1压阻式变换原理

4.2压阻式传感器的典型实例

4.3基于硅压阻式压力传感器的节流式流量计

4.4硅压阻式传感器温度漂移的补偿

3

传感器技术与应用

第4章压阻式传感器

4.1压阻式变换原理

4.2压阻式传感器的典型实例

4.3基于硅压阻式压力传感器的节流式流量计

4.4硅压阻式传感器温度漂移的补偿

4

传感器技术与应用

4.1压阻式变换原理

4.1.1半导体材料的压阻效应

4.1.2单晶硅的晶向、晶面的表示

4.1.3压阻系数

5

传感器技术与应用

4.1.1半导体材料的压阻效应

◼压阻效应有两种应用方式：一是利用体电阻制成应变片，见第3章；另一种在半导

体基片上制成扩散型压敏电阻或离子注入型压敏电阻；

◼电阻率ρ，长L，横截面半径r的电阻，其变化率为

dRddLdr

=+−2

RLr

◼金属电阻相对变化与其所受轴向应变dL/L成正比；

半导体电阻取决于载流子浓度N、空穴或电子迁移μ，电阻率可表示为

iav

1



eN

iav

◼半导体受外力作用产生应力，引起载流子浓度、平均迁移率变化，使电阻率变化，

这是压阻效应本质；半导体电阻率相对变化可写为

d

LL

σL—轴向应力(Pa)；

πL—压阻系数(Pa-1)，单位应力引起电阻率相对变化量6

传感器技术与应用

4.1.1半导体材料的压阻效应

◼电阻变化率

dRddLdL

=++2E=+2+1K

(L)LL

RLL

1111-11-11

◼常用半导体材料弹性模量1.3×10～1.9×10Pa，压阻系数50×10～138×10

Pa-1，故πE范围65～262；半导体压阻效应等效应变灵敏系数远大于金属

L

◼对半导体材料压阻效应，可描述为

dRR

LL

◼硅压阻式传感器主要优点：压阻系数高、灵敏度高、分辨率高、动态响应好、易于

集成化、智能化、批量生产；

◼主要缺点：温度应用范围相对较窄，温度系数大，温度误差较大；

◼减小压阻效应温度系数，是关键问题；

传感器