传感器技术与应用 - 课件 第5章 电容式传感器.pdf

传感器技术与应用

传感器技术与应用

学习内容

第5章

教材（2024版）

学习内容，P1-19

作业，P18-19

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传感器技术与应用

第5章电容式传感器

5.1电容式敏感元件及特性

5.2电容式变换元件的信号转换电路

5.3电容式传感器的典型实例

5.4电容式传感器的结构及抗干扰问题

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传感器技术与应用

第5章电容式传感器

5.1电容式敏感元件及特性

5.2电容式变换元件的信号转换电路

5.3电容式传感器的典型实例

5.4电容式传感器的结构及抗干扰问题

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传感器技术与应用

5.1电容式敏感元件及特性

5.1.1电容式敏感元件

5.1.2变间隙电容式敏感元件

5.1.3变面积电容式敏感元件

5.1.4变介电常数电容式敏感元件

5.1.5电容式敏感元件的等效电路

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5.1.1电容式敏感元件

1.基本原理

◼电容量与构成电容元件的电极结构与参数、电极间介电常数有关

Cf(,s,)

◼通过间隙δ、面积S和介质ε改变C，有变间隙、变面积和变介质三类电容式敏感元件

◼两种基本敏感结构：平行板和圆柱同轴；

◼变δ，可测量线位移(小到0.01μm)；

◼变S，可测量角位移(小到1”)或较大线位移；

◼变ε，测量介质物理特性，如湿度、密度等

2.主要特点

◼优点：非接触式测量、结构简单、灵敏度高、分辨率高、动态响应好、可在恶劣环境

下工作等；

◼缺点：高阻抗输出、受干扰影响大、易受电磁干扰、稳定性稍差、介电常数受温度影

响大、有静电吸力等

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5.1.2变间隙电容式敏感元件

◼图为平行极板变间隙电容式敏感元件；

◼不考虑边缘效应，特性方程

sεs平行极板变间隙电容式敏感元件

Cr0→C与δ成反比；



◼δ减小Δδ，电容增量和相对增量分别为

ss

C−

−

C2

1+++...

C1−→非线性明显





◼为改善非线性，用差动方式，如图；

变间隙差动电容式敏感元件

◼两个电容，一增一减；结合变换电路，实现补偿

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5.1