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本发明提供一种即使是长的圆筒型，也能够抑制微粒、异常放电的溅射靶。在本发明的溅射靶中，靶主体包括沿着筒状衬管的外周面排列设置且具有圆弧状剖面的多个靶构件。多个靶构件以彼此分开的方式围绕衬管的中心轴配置。围绕中心轴排列的靶构件间形成的间隙在衬管的中心轴方向延伸。接合材料设置在衬管与靶主体之间，将衬管和多个靶构件中的每一个接合。遮挡构件设置在接合材料与靶主体之间，从接合材料侧遮挡间隙。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113508187A
(43)申请公布日2021.10.15
(21)申请号202080016634.X(74)专利代理机构北京柏杉松知识产权代理事
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