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基于玻璃热回流工艺的高深宽比微色谱柱及其制备方法.pdfVIP

基于玻璃热回流工艺的高深宽比微色谱柱及其制备方法.pdf

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    本公开提供了一种基于玻璃热回流工艺的高深宽比微色谱柱及其制备方法。该方法包括：在硅晶圆表面制备硅凹槽，采用玻璃回流工艺在硅凹槽中热回流填充熔融态的玻璃，冷却后对玻璃回流后上表面进行平坦化，并对硅晶圆背面进行减薄和刻蚀，清除硅材料，形成玻璃通道；对硅晶圆表面进行光刻和深反应离子刻蚀，形成硅通道；将玻璃通道和硅通道对准进行阳极键合，得到高深宽比微色谱柱。利用本公开，玻璃通道是采用热回流工艺将玻璃晶圆经高温软化和熔融回流至硅晶圆经刻蚀后的硅结构内一体成形的，无需刻蚀或腐蚀玻璃，玻璃通道成形质量高，且玻

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117630254A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311609834.8B81C3/00(2006.01)

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