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键合丝设备的键合失效调控方法、装置、设备及存储介质.pdfVIP

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  • 2024-03-02 发布于四川
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键合丝设备的键合失效调控方法、装置、设备及存储介质.pdf

    本申请公开了一种键合丝设备的键合失效调控方法、装置、设备及存储介质，该键合丝设备的键合失效调控方法包括当检测到键合丝设备在进行键合处理时，检测所述键合丝设备的键合点是否失效；若检测到所述键合丝设备的键合点失效，确定失效类型；根据所述失效类型确定对应的调控策略，并根据所述调控策略确定失效原因；根据所述失效原因对所述键合丝设备的键合进行调控。通过本申请提供的技术方案实现对键合点失效的检测，同时自动对失效原因进行检测，从而针对性的进行调控，避免键合点失效而对半导体期间造成功能的损伤。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117637537A

    (43)申请公布日2024.03.01

    (21)申请号202311531380.7

    (22)申请日2023.11.15

    (71)申请人深圳中宝集团有限公司

    地址51

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