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本申请提供一种鳍式晶体管结构及其制作方法,鳍式晶体管结构的制作方法包括:提供衬底,衬底的顶表面伸出有鳍状部;在衬底上形成隔离层,隔离层的顶表面低于鳍状部的顶部,以使鳍状部的上部暴露在隔离层上方;采用扩散工艺对鳍状部的上部进行掺杂处理,以在鳍状部的上部中形成源区及漏区中的至少一者。鳍式晶体管结构的制作方法能够降低甚至消除鳍式晶体管结构的晶格缺陷,且可提高轻掺杂源/漏区的表面结深的均匀性,提升鳍式晶体管的性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117637479A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202210974812.0
(22)申请日2022.08.15
(71)申请人长鑫存储技术有限公司
地址23
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