第五章-光电子能谱分析.ppt

第一节概述表面分析方法的特点第二节光电子能谱的基本原理（XPS）一、光与物质的相互作用1、光电效应X射线与物质相互作用时，物质吸收了X射线的能量并使原子中内层电子脱离原子成为自由电子，即光电子，如图5-2。2、受激原子的驰豫—去激发3、光电子逸出深度对于固体样品，X射线能量用于：内层电子跃迁到费米能级，即克服该电子的结合能Eb；电子由费米能级进入真空成为静止电子，即克服功函数?；自由电子的动能Ek。则h?＝Eb＋Ek＋?2、化学位移化学位移与元素电负性的关系化学位移与原子氧化态的关系第四节光电子能谱XPS的应用一、化学分析1、元素成份分析：氢以外的元素，气、液、固，样品量可少至10-8g，灵敏度达10-18g，相对精度有1％，适于作痕量元素的分析。理论基础—测定元素中不同轨道上电子的结合能，不同元素的原子各层电子的结合能差别较大。二、固体表面相的研究思考题第五章光电子能谱分析光电子能谱是一种表面测试技术，对物体10nm以内的表面进行分析。表面科学的主要发展始于20世纪60年代，它产生的两个最主要的条件是：超高真空技术的发展各种表面灵敏的分析技术不断出现用一束“粒子”作为探针来探测样品表面探针:电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波在探针作用下，从样品表面发射或散射粒子(电子、离子、光子、中性粒子、电场、磁场、热或声波)。检测:发射粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特征，或波的频率、方向、强度、偏振等情况，可获得有关表面的信息。元素分析AES俄歇电子能谱e原子态PSD光子诱导脱附I原子及电子态、结构ARPES角分辨光电子谱?元素分析UPS紫外线光电子谱e元素分析XPSX射线光电子谱ee?I主要用途简称分析方法名称发射粒子探测粒子e－电子?－光子I－离子见P273表5-1表5-1主要表面分析方法X射线光电子能谱法（XPS），因最初以化学领域应用为主要目标，故又称为化学分析用电子能谱法（ESCA）。X-RayPhotoelectronSpectroscopy(XPS)/ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis(ESCA)光电子和俄歇电子的产生入射光子与原子相互作用产生光电子，此时原子处于高能激发态，原子存在趋于平衡的倾向，以达到低能量状态，这一过程称为驰豫过程，也称去激发过程。去激发1去激发2光电子在固体内移动，最终逸出固体表面以前所经历的距离，称为光电子逸出深度。取决于电子的能量和电子平均自由程。电子平均自由程：指光电子在固体样品表面不发生非弹性碰撞时逸出的深度。光电子发射可分为三个过程：（1）电子因吸光而激发；（2）释放出的电子向固体表面移动；（3）克服表面势场而射出－脱离固体表面对于气体分子，X射线能量h?用于三部分：一部分用于克服电子的结合能Eb，使其激发为自由的光电子；一部分转移至光电子使其具有一定的动能Ek；一部分成为原子的反冲能Er。则h?＝Eb＋Ek＋Er二、光电子能谱测量原理随受激原子的原子序数增大而减小，同时受激发源的影响。见P277表5-21、Eb的计算当样品置于仪器中的样品架上时，样品与仪器样品架材料之间将产生接触电势，这是由于二者的功函数不同所致，若??，则：此电势将加速光电子的运动，使自由电子的动能从Ek增加到EkEk＋?＝Ek＋?h?＝Eb＋Ek＋?Eb＝h?－Ek－?式中?是仪器的功函数，是一定值，约为4eV，h?为实验时选用的X射线能量为已知，通过精确测量光电子的动能Ek，即能计算出Eb。47种元素的电子结合能，见表5-3。表5-3中的数据是单个原子时的结合能。实际数据与其有偏差，原因：同种原子中的电子，由于处于不同的化学环境，引起电子结合能的变化，在谱线上造成位移，称为化学位移。化学位移模型----不要求以C元素为例：单个C原子，C1s的结合能为284eV；CH4，C1s的结合能为290eV；若CH4中的H被卤族元素取代，随元素电负性的增强，C1s的结合能增大；而且随取代数目的增加而增大。见图5-9已知电负性：XH=