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本发明涉及单晶硅技术领域,特别是涉及一种单晶炉放肩断线检测方法、装置及设备。单晶炉放肩断线检测方法包括:在硅棒处于放肩过程中,获取硅棒的连续多帧样本图像;样本图像上设置检测区域,检测区域用于捕捉硅棒的晶线;根据连续多帧样本图像,生成检测区域的灰度值离散程度变化规律;根据灰度值离散程度变化规律,确定晶线的生长状态。在样本图像上设置检测区域,根据连续多帧样本图像,生成检测区域的灰度值离散程度变化规律,并根据灰度值离散程度变化规律,就可以确定硅棒的晶线的生长状态,可实时识别放肩是否断线,提高了对晶线的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117661096A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211087064.0
(22)申请日2022.09.06
(71)申请人隆基绿能科技股份
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