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一种Zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、包含其的光刻胶组合物及其应用.pdfVIP

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  • 2024-03-09 发布于四川
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一种Zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、包含其的光刻胶组合物及其应用.pdf

    本发明涉及一种Zn基有机配位纳米颗粒及其制备方法、包含其的光刻胶组合物及其应用。该Zn基有机配位纳米颗粒采用含锌化合物优选醋酸锌、苯甲酸以及含氮有机配体在有机溶剂中混合搅拌后进行后处理得到，另外获得化学通式为[ZnmXn(CH3COO)tYpHq]r的纳米颗粒，其中，X为苯甲酸根，CH3COO表示乙酸根，Y为含氮有机配体，r为聚合度，m、n、p、q、n、r各自独立的选自1～20的任意整数，t选自0～20的任意整数。本发明Zn基有机配位纳米颗粒作为光刻胶成分，可以实现高分辨、高灵敏度、低线条粗糙度

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117659055A

    (43)申请公布日2024.03.08

    (21)申请号202211043291.3

    (22)申请日2022.08.29

    (71)申请人清华大学

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