用于合成碳化硅粉料的坩埚及其制备方法、合成装置.pdfVIP

用于合成碳化硅粉料的坩埚及其制备方法、合成装置.pdf

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本发明提供了一种用于合成碳化硅粉料的坩埚及其制备方法、合成装置。坩埚包括坩埚本体和隔热室;坩埚本体的上端敞口,下端密封,形成容纳腔;隔热室设置在坩埚本体的底部,隔热室与坩埚本体为一体结构,并且隔热室内具有隔热腔。本发明的用于合成碳化硅粉料的坩埚,通过在坩埚本体的底部设置与坩埚本体为一体结构的隔热室,隔热室内具有隔热腔;当使用该坩埚在高温下将高纯碳粉和高纯硅粉合成为碳化硅粉料时,隔热腔可以起到一定的隔热作用,避免坩埚本体底部的温度过高,从而可以有效缓解坩埚本体底部合成的碳化硅粉料由于底部温度过高而

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117663764A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202311629860.7

(22)申请日2023.11.30

(71)申请人湖南金博碳基材料研究院有限公司

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